10月27 日，浙江大學(xué)余杭量子研究院研發(fā)的首臺國產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機 “羲之” 完成測試并進入應(yīng)用階段，這則消息不僅讓國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)振奮，更在全球高端光刻機領(lǐng)域投下一枚 “重磅炸彈”。作為我國首臺真正實現(xiàn)商業(yè)化適配的電子束光刻機，“羲之” 用 0.6nm 的定位精度、8nm 的線寬控制，以及較國際主流設(shè)備提升 3 倍的加工效率，直接打破了長期以來高端光刻機領(lǐng)域的進口壟斷格局。

此前，受《瓦森納協(xié)定》等外部限制，我國在量子芯片、車規(guī)級 IGBT 芯片等高端領(lǐng)域的研發(fā)，長期受制于進口光刻機的供應(yīng)周期與技術(shù)封鎖 —— 國際主流設(shè)備不僅單臺售價超 2 億元，定位精度多在 ±5nm 以上，且加工效率難以滿足量產(chǎn)需求。而 “羲之” 的突破恰恰直擊這些痛點：0.6nm 定位精度實現(xiàn)量級跨越，8nm 線寬適配高端芯片制造，3 倍效率提升更是解決了電子束光刻機 “慢工出細活” 的行業(yè)難題，同時 78% 的國產(chǎn)化率讓高能電子束控制器、納米定位平臺等核心部件徹底擺脫進口依賴，設(shè)備成本較國際主流產(chǎn)品降低 30% 以上。

傳統(tǒng)電子束光刻機因加工效率低，多局限于實驗室研發(fā)場景，難以支撐工業(yè)級量產(chǎn)。“羲之” 通過優(yōu)化電子束掃描路徑與納米定位算法，將單晶圓加工時間大幅壓縮，首次具備商業(yè)化量產(chǎn)能力 —— 既能滿足量子芯片對精密制造的嚴(yán)苛要求，又能適配車規(guī)級 IGBT 芯片的大規(guī)模生產(chǎn)，填補了國產(chǎn)設(shè)備在高端芯片制造環(huán)節(jié)的空白。

這一突破帶來的產(chǎn)業(yè)鏈漣漪正逐步擴散：隨著 “羲之” 進入應(yīng)用階段，量子芯片、車規(guī)級 IGBT 芯片的國產(chǎn)化進程將加速，作為芯片與終端設(shè)備 “連接橋梁” 的線路板產(chǎn)業(yè)，也將面臨新的需求變革。更高精度的芯片設(shè)計需要匹配更精細的線路板布線工藝，傳統(tǒng)線路板的線寬、孔徑標(biāo)準(zhǔn)將被重新定義，具備高頻高速、柔性適配能力的線路板產(chǎn)品，有望借勢打開高端市場，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈升級的重要參與者。